西藏喇嘛圆寂时，从该庙内选定19岁的小喇嘛斯琴为转世活佛。清乾隆元年，25岁的斯琴活佛赴西藏，朝觐七世达赖嘎拉桑扎木苏，达赖授予斯琴却日学位，赐给佛教法规《扎雅格》经。斯琴活佛32岁时（当时已是乾隆八年，即1743年），再度到西藏，请回斯琴喇嘛度牒，并赐给蒙文《丹珠尔》经一部。此经现保存在内蒙古科学院图书馆。
哈音海尔瓦庙经康熙四十八年（1709）、乾隆八年（1743）、乾隆五十六年（1791），进行了几次扩建，到18世纪末，已具有相当规模。此后，又有两次大的扩建，一次是光绪十一年（1885），将朝克沁殿扩建为81间。那时，庙内僧众达1500名。另一次是光绪二十五年（1899），该庙趁西藏活佛吉木彦西都布到北京之机，将其请来讲经，远近僧众1万多人前来朝觐、听讲，并大量布施，该庙再度扩建。扩建后僧众达2000名。
规模较大时，哈音海尔瓦庙有5个拉桑（喇嘛教的学部），大小18个殿堂，5个庙仓，喇嘛住宅500多间。主要殿堂有：朝克沁殿、却日殿、堆英克尔殿、门巴殿、拉希殿等。5个拉桑分别是：卓特巴拉桑、赖玛禳拉桑、堆英克尔拉桑、门巴拉桑、却日拉桑。5个庙仓为：卓特巴仓、赖玛禳仓、堆英科尔仓、门巴仓、却日仓。
哈音海尔瓦庙内除藏有七世达赖喇嘛赐给的佛教法规《扎雅格》经，清高宗赐给的蒙文《丹珠尔》经之外，还藏有大小金银佛像、雕刻、刺绣等各种文物及数千件工艺品。5个拉桑中曾进行过天文学、哲学、历法、医学等学科的研究，出现过一些知识渊博的喇嘛。镶黄旗很多知名的喇嘛门巴（蒙医）均出自哈音海尔瓦庙的门巴拉桑。
清朝末年和中华民国初期，因连年战乱，哈音海尔瓦庙多次被洗劫。此后，逐渐衰落。民国时期，因土地问题于1936年搬迁到今镶黄旗哈音海尔瓦苏木政府所在地。新建的哈音海尔瓦庙其规模大为缩减，其中的朝克沁殿由81间缩减为49间。“文化大革命”中，因所谓“破四旧”，该庙被彻底拆除。
据说，公元前6世纪，释迦牟尼在印度的菩提树下顿悟佛理，创立了佛教。西汉时期，佛教开始传入中国。之后，历经发展，佛教又划分了两个体系，即大乘佛教和小乘佛教。大乘佛教又分为显宗和密宗。公元七世纪，莲花生大师将密宗传入西藏后与苯教反复斗争、相互渗透、融合，最后形成有西藏地方特色的佛教——藏传佛教。因为在藏传佛教寺庙中，取得佛学学位的僧人在藏语中被称为“喇嘛”，所以，人们就称藏传佛教为“喇嘛教”。那藏传佛教又是怎样传入蒙古地区的呢？其实，藏传佛教传入内蒙古地区始于明朝隆庆、万历年间（1567－1620）。回溯元朝时期，红教主要传布于蒙古贵族间。由于红教不甚守戒律，明永乐年间，西宁人宗喀巴对喇嘛教进行了一次改革，主张“敬重戒律”，提倡苦行，即不娶妻，禁饮酒，戒杀生等等。元后，俺答汗统治时期，蒙古地区与明朝修好，原始的萨满教和红教等已不适合当时的政治需要。此外，西藏的黄教势力也需要蒙古贵族的支持。这样，1578年，俺答汗在青海仰华寺会见达赖三世，许愿用金身塑释迦牟尼像。同时，俺答汗主持召开仰华寺大会，在这次大会上，蒙古当权者和黄教僧侣达成共识，黄教从此传入蒙古地区。
镶黄旗哈音海尔瓦庙始建于康熙五年（1666）。据记载，当时有一个从西藏来传教的喇嘛，在镶黄旗建了一座庙，称马王庙。建庙过程中和建成后，王公富牧们都曾大力资助，一些牧民还不断送子弟到庙里当喇嘛。十几年后，该庙僧众已有五六十名。康熙四十八年（1709），商都马群总管云东将该庙的建造、发展情况上奏朝廷，清圣祖十分赞赏，给该庙取名“广益寺”，赐给一尊50两重的哈音海尔瓦银佛。此后，该庙又叫哈音海尔瓦庙。
